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電鑄光柵電鑄加工技術(shù)通過(guò)金屬電沉積實(shí)現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)復(fù)制，已成為精密光學(xué)元件制造的核心工藝。本文系統(tǒng)分析電鑄光柵電鑄加工的工藝鏈及其對(duì)光學(xué)性能的影響。  

1. **電鑄光柵電鑄加工的基本流程**  

典型工藝包含：基板活化→光刻膠模版制作→電鑄成型→脫模后處理。其中電鑄光柵電鑄加工的關(guān)鍵在于鎳/銅電解液的組分控制（硫酸鎳300±5g/L，硼酸40g/L）。  

2. **脈沖參數(shù)對(duì)電鑄光柵電鑄加工的影響**  

對(duì)比直流電鑄，采用占空比30%、頻率1000Hz的脈沖電流可使電鑄光柵電鑄加工的表面粗糙度降低至Ra<15nm，槽型邊緣銳度提升20%。  

3. **電鑄光柵電鑄加工中的應(yīng)力控制**  

通過(guò)添加糖精鈉（0.8-1.2g/L）作為應(yīng)力消除劑，可減少電鑄光柵電鑄加工過(guò)程中的內(nèi)應(yīng)力變形，使500lpi光柵的周期誤差≤±0.05μm。  

4. **復(fù)合電鑄光柵電鑄加工工藝**  

實(shí)驗(yàn)證明，在鎳基電鑄光柵電鑄加工中疊加超聲振動(dòng)（28kHz，功率300W），能顯著改善鍍層致密性，使1064nm激光的衍射效率達(dá)到89.7%。  

5. **產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用挑戰(zhàn)**  

當(dāng)前電鑄光柵電鑄加工仍面臨兩大難題：①大尺寸（>200mm）基板的均勻性控制；②批量生產(chǎn)時(shí)工藝穩(wěn)定性（CPK需達(dá)到1.33以上）。